Лучевые методы используются для обработки деталей из токопроводящих и нетокопроводящих материалов. Они основаны на съеме материала при воздействии на него концентрированными лучами - энергоносителями с высокой плотностью энергии. Эти методы не требуют применения специального инструмента, обеспечивающего подведение энергии к месту обработки. Съем материала осуществляется при преобразовании энергии в тепло непосредственно в зоне обработки. Различают два метода обработки - световыми и электронными лучами.
В первом случае используется когерентность - свойство монохроматических световых лучей, заключающееся в постоянстве разности фаз между ними. Благодаря этому лучи могут интерферировать, т. е. при наложении друг на друга в фазе усиливаться. Когерентный световой луч, генерируемый монохроматическим оптическим квантовым генератором (лазером), направляется через оптическую систему на обрабатываемую заготовку. В зоне действия луча создается высокая температура, вызывающая расплавление материала. Светолучевую обработку применяют при изготовлении отверстий очень малых диаметров (0.03-0,50 мм) в любых материалах, а также при изготовлении фильер, мелких сит и т. п. деталей. Производительность процесса - до 60 отверстий в минуту при глубине от долей до нескольких миллиметров. Мощность источников питания составляет несколько десятков киловатт.
Электронно-лучевой метод основан на применении специального устройства - электронной пушки с электронно-оптической системой. Излучаемые катодом электроны при глубоком вакууме ускоряются в мощном электрическом поле. Будучи сфокусированными в узкий пучок, они направляются на обрабатываемую деталь - анод. Кинетическая энергия электронов, проникающих в твердое тело, преобразуется в тепловую энергию, которая и приводит к расплавлению материала.