Оптический метод светового сечения
Оптический метод светового сечения (рис. 8.27, а) позволяет наблюдать в окуляр 1 сильно увеличенный профиль неровностей и, измеряя их с помощью шкал окулярного микрометра, определять Ra Rz. Метод светового сечения заключается в следующем.
Рис. 8.27. Измерение шероховатости поверхности: а - оптическим методом светового сечения; б - с помощью двухлучевого интерферометра; в - рефлектометрическим методом; 1 - фотоприемник (окуляр); 2 - линза; 3 - объект измерения; 4 - объектив; 5 - осветитель
Освещенная узкая щель S’ проектируется микроскопом А1 на контролируемые поверхности B1и В2, образующие ступеньку высотой Н. Изображение щели на поверхности В1 займет положение S1’ , а на поверхности В2 - S2’. В поле зрения микроскопа А2, ось которого расположена под углом 90° к оси проецирующего микроскопа, изображение щели будет иметь вид световой ступеньки. Размер ступеньки b, соответствующий смещению изображения S2’ относительно S1’, служит мерой высоты ступеньки Н- высоты неровности. На этом принципе построены такие приборы, как МИС-11, ПСС-2 и др.
С помощью двухлучевого интерферометра (рис. 8.27, б) измеряют разность длин путей двух пучков света, отраженных от разных участков исследуемой поверхности.
Оптический прибор, построенный по схеме, изображенной на рис. 8.32, в, реализует рефлектометрический метод измерения и автоматизирует процесс измерения, обеспечивая получение интегрального значения высоты неровностей.
